常见的实验室净化工程装修材料有夹心彩钢板、钢化玻璃、防火板等,洁净实验室必须按照《洁净室施工与验收标准》采用可以较好的密封并且不产尘的材料进行隔断、吊顶装修,洁净实验室通风系统一般采用组合式空调机组,其送风系统与各业洁净室工程不同的地方是,不是所有实验室都可以设置回风系统的,这需要根据用户实验室的用途以及实验产品而定。2、光学微电子行业净化工程设计方案分析之水冷柜机+增压风柜+送风口与前种方案比较,这是相对比较简单的空调方案。类似于生物安全类实验室就不可以做回风系统,或者说要以全排式洁净室的做法来施工。实验室净化工程等级设计也很关键,一般的无菌室实验室洁净度等级都是万级,一般普通实验室则大范围十万级~万级的布局设计。生物安全实验室、阳性对照实验室以及微生物培养实验室则需按照静态百级的洁净室标准进行设计、施工
运动而呈不规则之乱流或涡流状态。(3)混合照明这是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明,其中一般照明的照度按《洁净厂房设计规范》应占总照度的10%—15%,但不低干150LX。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。优点:构造简单、系统建造成本低,洁净室的扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使用,一般其洁净室等级为Class1~100。(1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。
并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。类似于生物安全类实验室就不可以做回风系统,或者说要以全排式洁净室的做法来施工。洁净工作棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。