气体管路施工技术要求及验收标准？
技术要求
(1)总体设计：管道采用1/4”外径，经过AP处理的高等级洁净不锈钢管道。所有集中在气瓶柜的管路有适当的路径进入各实验桌，在使用仪器的附近接气体考克。
(2)管路设计、规划要点：
气体管路系统应具有良好的气密性，可靠性，可维护性。
1、气瓶阀出口为GB标准的外螺纹形式，为了便于管路系统与气瓶连接，故从气瓶阀出口到管道系统应设有转换接头(气瓶接头)。
2、为了方便更换气瓶，从上述气瓶接头到调节阀之间应设有耐高压的不锈钢螺旋管。
3、由于气瓶内部的气体压力为150Bar左右，使用点的压力较小，气体压力有变化，而且数值差距较大，故应在气瓶出口处设置一级减压阀(双表头)。
4、气路系统中应设有在紧急情况下能够快速切断供气的装置—开关阀，为了开关系统的方便和快捷，本项目中开关阀采用球阀。
5、为了保持气体的纯度及管道系统的气密性，所有管道采用进口316L不锈钢管道，内表面按规定处理。
6、管道与阀件的连接，管道与管道的连接应保证系统的气密性，同时要便于维修及更换阀件。
7、管道固定件要求坚固，轻巧，耐用。
实验室气体管道供气系统
实验室气路安装指实验室气体工程，即从气瓶至仪器终端之间连接管线，JHP一般有气体切换装置-减压装置-阀门-管线-过滤器-报警器-终端箱-调节阀等部分组成。目前主流气路编排主要为实验室集中供气系统。
公司提供全i方位的实验室气体管道供气系统，满足不同实验的用气要求与安全。采用汇流排供气设备，进行双瓶带手动、半自动、全自动切换功能，带有低压报警装置，实时监控气体压力，浓度侦测报警和排风，保证客户正常用气需求和生命财产安全。
各种气体配管配件要求
在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。
高纯氮气(PN2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氮气(N2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。
高纯氢气(PH2)氢气(H2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氦气(He)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
特气系统：必要的还需做双套管：外管酸洗钝化(AP)处理，内管电解抛光(EP)，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
对于特殊气体来讲，气体品种多，有毒有害气体多，原来是一机台配一气柜，高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全隐患。现在广泛采用集中供气系统，气柜集中，自控系统不断完善，其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，特气间也与工艺间隔离，并对房间有防爆要求，工作的安全性大大提高。蒸汽或其他含水的气体管道在i低点设置排水管或疏水阀，某些气体管道还设有气水分离器，以便及时排去水液，防止管内产生水击和阻碍气体流动。