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这种情况比较复杂，因为周围气体介质即使稍微漏入真空腔内，也会使其真空度降低。如果漏入了腐蚀性气体,真空设备就可能损坏。在很多情况下，真空度和真空空间的洁净，对真空条件下进行的各种工艺过程的质量有决定性的影响。

真空器件所使用的机械密封在结构上并无特殊之处。对于上述的一种情况，通常是采用气密性好的金属波纹营型单端面机械密封。第二种情况则要用双端面机械密封，若使用单端面密封，势必存在密封端面不能获得润滑的问题。

密封面内圆柱面上的伤痕很可能是外面的杂物进入密封面或安装不当造成的。密封面上的环形沟槽，多数是固体微粒沉积于密封面而引起的。

石墨环（动环）的裂纹是由于传动件的振动，橡胶圈的涨大以及石墨环本身的内应力造成的，而结焦则是因高温所致，这在炼油厂的高温热油介质中是常见的。

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需要注意的是渣浆泵机械密封的适用范围温度在-20℃—150℃之间;适用压力≤ 2.4MPa;渣浆泵机械密封的安装方法如下。

首要检查进行安装的机械密封的型号、规格是否无误。

继而检查渣浆泵与机械密封的安装相关联部位的尺寸精度、几何精度和相互关系是否符合技术要求。主要有以下几个方面：安装机械密封部位的轴(或轴套)的径向跳动允差，轴(或轴套)的表面光洁度和外径尺寸公差。而O形橡胶圈的初始接触压力是非均布的(图b)，工作时在内压作用下O形橡胶圈沿作用力方向移动，并改变截面形状，密封面上的接触压力也相应变化(图C)，其大值Pmax大于介质内压，所以不发生泄漏。密封腔和压盖结合定位端面对轴(或轴套)中心线垂直度允差。安装动环密封圈的轴(或轴套)的端部，安装机械密封的壳体孔的端部结构之倒角和光洁度。机械密封之转轴工作时的轴向位移量。

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需要注意在安装机械密封过程中，应保持清洁，且不允许用工具敲打密封元件，以防损伤和破坏，安装时，动、静环表面应涂上一层清洁的机油和透平油。2012年，彭旭东等就不同转速和压力对T型槽干气密封槽型几何结构参数优选值的影响进行了深入研究，进一步为T型槽在不同操作条件下的实际设计与应用提供了理论依据。辅助密封圈(包括动环密封圈和静环密封圈)安装前也需涂一层清洁的机油或透平油，以保证安装顺利，接着将静环密封圈套在静环背部后，装入密封端盖内，要注意勿伤静环端面，要保证静环端面与端盖中心线垂直，且注意静环背部的防转槽要对准防转销，但不能相接触。

对于质量较差的石墨环（动环）来讲，其内部气孔较多，这是因为在制造过程中，聚集在石墨内部的气体膨胀将碳微粒吹出的所致，因此这种低质的石墨环在密封启用中，其碳微粒很容易脱落，而使密封面在密封停用时粘住。

密封面内圆柱面上的伤痕很可能是外面的杂物进入密封面或安装不当造成的。密封面上的环形沟槽，多数是固体微粒沉积于密封面而引起的。