序号 | 标准器组成 | 技术指标 |
1 | 环面面形标准器1 |
球面曲率半径R=6.45mm±0.05mm,曲率半径不确定度U=0.002mm(k=2); 面形误差:±1μm;有效光学区域直径≥10mm。 |
2 | 球面面形标准器2 |
球面曲率半径R=7.95mm±0.05mm,曲率半径不确定度U=0.002mm(k=2); 面形误差:±1μm;有效光学区域直径≥10mm。 |
3 | 球面面形标准器3 |
球面曲率半径R=9.45±0.05mm,曲率半径不确定度U=0.002mm(k=2); 面形误差:±1μm;有效光学区域直径≥10mm。 |
4 | 环曲面标准器 |
R1=8.00mm±0.2mm,R2<R1,R1-R2=0.4mm±0.7mm。轴位标称值分别为:0°/180°、45°、90°和135°,轴位不确定度U=1°(k=2) 有效光学区域直径≥10mm。 |